特許
J-GLOBAL ID：200903089989320510
レーザスペックルパターンによる移動量の測定装置におけるレーザ光の照射方法ならびにその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 直義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-147079
公開番号（公開出願番号）：特開平9-014914
出願日： 1994年06月06日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 被計測物である被照射体に照射した光が反射して、この反射光を識別側に到達させる手段中、該計測物において、入射角と反射角との関係を生じさせた際に生じる影ならびに映像の歪み現象の発生を皆無にするために、照射光の光軸と、反射光の光軸とを一にして、欠落画像ならびに歪みのない画像を測定側に認識できるようにする。【構成】 レーザ発振器4から発振し、非球面レンズ10および格子板9を透過することにより所望設定のレーザ光Aとなり、このレーザ光Aが前記の反射体11に照射されるようにレーザ発振器4の設置位置を設定する。反射体11に照射されたレーザ光Aは偏光して照射し、被計測物1計測面にスペックルパターン3を投影する。これをCCDカメラ5が認識する。このようにすることによって、被計測物1と反射体11間においては、レーザ光Aである入射光の光軸と反射光の光軸とを一にする。
請求項（抜粋）：
非接触で移動量を測定する手段にあって、被計測物にレーザ光を照射することにより被照射域の映像範囲に描かれたスペックルパターンを標識として光学的に認識し、かつ、該認識画素を演算処理し、測定数値を表示出力させてなる測定方法において、被照射域より反射する光束の光軸線上に反射体を介装し、拡幅レーザ照射光を該反射体に反射させ、偏光するレーザ照射光の光軸と被照射域より反射する光束の光軸とを一になるようにしてなることを特徴とするレーザスペックルパターンによる移動量の測定装置におけるレーザ光の照射方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01B 11/00 F
, G01B 11/00 G
, G06F 15/64 320 C
