超狭帯域化フッ素レーザ装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-337948
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156375
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】波長幅が1〜2pmの1ライン化されたレーザ光をさらに狭帯域化すると共に、この狭帯域化されたレーザ光の波長を簡易に安定化できる超狭帯域化フッ素レーザ装置を提供する。【解決手段】全反射鏡10と出力鏡11とで第1の共振器が構成され、全反射鏡14とプリズム15aの表面Pとで第2の共振器が構成されている。分光器20は、超狭帯域化されているレーザ光L11と1ライン化されているが超狭帯域化されていないレーザ光L13の両方を入射して、それぞれのレーザ光のスペクトルを検出し、この検出結果を制御装置23に送出する。制御装置23は、分光器20からの検出結果を基に、レーザ光L13のスペクトルの中心波長と、レーザ光L11のスペクトルの中心波長とを一致させるべく、信号線22bを介して回転ステージ24を回転制御する。

請求項（抜粋）：

フッ素レーザをレーザ発振するレーザチャンバと、該レーザチャンバからレーザ発振されるレーザ光を共振させる第1の共振器とを備え、該レーザ発振されたレーザ光を狭帯域化する超狭帯域化フッ素レーザ装置において、前記レーザ発振されたレーザ光における波長と光強度の異なる2つの発振線のうちの1つの発振線を狭帯域化して出射する狭帯域化素子と、前記1つの発振線を狭帯域化せずに発振させる第2の共振器と、前記狭帯域化素子から出射されたレーザ光のスペクトルの中心波長と前記第2の共振器から発振されたレーザ光のスペクトルの中心波長との差を検出する検出手段と、前記検出手段により検出された前記2つのレーザ光のスペクトルの中心波長の差が許容範囲内に存在すべく、前記狭帯域化素子を制御する制御手段とを具備することを特徴とする超狭帯域化フッ素レーザ装置。

IPC (2件)：

H01S 3/137 , H01S 3/223

FI (2件)：

H01S 3/137 , H01S 3/223 Z

Fターム (21件)：

5F071AA04 , 5F071DD08 , 5F071HH02 , 5F071HH05 , 5F071JJ02 , 5F071JJ10 , 5F072AA04 , 5F072HH02 , 5F072HH05 , 5F072JJ02 , 5F072JJ12 , 5F072JJ13 , 5F072KK01 , 5F072KK03 , 5F072KK05 , 5F072KK06 , 5F072KK08 , 5F072KK09 , 5F072KK18 , 5F072MM20 , 5F072RR05

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-062981
特開平3-137526
特開平3-062981

全件表示

前のページに戻る