特許
J-GLOBAL ID：200903089992760440
磁気ディスクの表面分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-252319
公開番号（公開出願番号）：特開平8-114555
出願日： 1994年10月18日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【目的】 試料上の微量の有機化合物の汚染物を検出して同定する分析装置を提供する。【構成】容器2と、容器2内で試料1を保持する試料台101と、試料1に光を照射するための光源4と、試料1から遊離した汚染物を分析する分析装置5とを備える。このとき光源4は、2重結合を有する有機化合物のうち、少なくとも1つの化合物を、励起する波長の光を照射するものである。
請求項（抜粋）：
容器と、前記容器内で試料を保持する試料台と、前記試料に光を照射するための光源と、前記試料から遊離した汚染物を分析する分析装置とを備え、前記光源は、2重結合を有する有機化合物のうち、少なくとも1つの化合物を、励起する波長の光を照射することを特徴とする表面分析装置。
IPC (2件)：
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