特許
J-GLOBAL ID：200903089996465108
セラミツクスヒーター
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-253598
公開番号（公開出願番号）：特開平5-094865
出願日： 1991年10月01日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：
【要約】【目的】 ウエハーの汚染や熱効率の悪化といった問題を生じず、しかもウエハーの加熱温度を均一化してその歩留りを向上させうるようなセラミックスヒーターを提供することである。【構成】 例えば円盤状の基体3の内部に、抵抗発熱体4が埋設される。この抵抗発熱体4は、平面的にみると渦巻状に埋設されており、抵抗発熱体4の両端に塊状端子6が接続されている。円盤状基体3の発熱面3aに耐熱金属層1Aが接合され、耐熱金属層1Aの表面に緻密質セラミックス層2Aが接合される。耐熱金属層1Aを構成する耐熱金属の熱伝導率は、円盤状基体3を構成する緻密質セラミックスの熱伝導率よりも大きい。
請求項（抜粋）：
緻密質セラミックスからなる盤状基体と、この盤状基体の内部に埋設された抵抗発熱体とを備えたウエハー加熱用のセラミックスヒーターであって、前記抵抗発熱体とウエハーとの間に耐熱金属層と緻密質セラミックス層とが設けられ、この緻密質セラミックス層の表面がウエハー加熱面を構成している、セラミックスヒーター。
IPC (7件)：
H05B 3/20 356
, C23C 16/46
, H01L 21/205
, H01L 21/302
, H01L 21/31
, H01L 21/324
, H05B 3/14
