特許

J-GLOBAL ID：200903089999618053

真空ロボット

発明者： 古川 伸征 ,  野口 忠隆
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
代理人 (1件)： 萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-131186
公開番号（公開出願番号）：特開平10-315182
出願日： 1997年05月21日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：

【要約】【課題】 真空ロボットを取り外して分解せずにグリスを補給することのできる真空ロボットを得、オーバーホール期間の延長を図る。【解決手段】 真空チャンバ1内のアーム13と、真空チャンバ1の外部に設けた本体41と、真空チャンバ1を貫通して本体41内に突出した駆動軸23と、本体41内に突出した駆動軸23の先端に固着したロータ27と、本体41内に固設したロータ枠49と、ロータ枠49にロータ27を回動自在に支持する軸受47と、本体41の内部を気密シールする真空ケース45とを具備した真空ロボットにおいて、軸受47に半径方向で貫通する穴を穿設する。この穴に一致するグリス注入穴をロータ枠49に穿設する。グリス注入穴に対応するグリス注入作業穴55を真空ケース45に形成する。グリス注入作業穴55を気密シールする蓋57を真空ケース45に着脱自在に設ける。

請求項（抜粋）：

真空チャンバ内で稼働するアームと、前記真空チャンバの外部に設けた本体と、前記真空チャンバを貫通して該本体内に突出し回動によって前記真空チャンバ内のアームを駆動する駆動軸と、前記本体内に突出した該駆動軸の先端に固着したロータと、前記本体内に固設したロータ枠と、前記ロータ枠に前記ロータを回動自在に支持する軸受と、前記本体の内部を大気側である外部と気密シールする真空ケースとを具備した真空ロボットにおいて、前記軸受に半径方向で貫通する穴が穿設され、該穴に一致するグリス注入穴が前記ロータ枠に穿設され、該グリス注入穴に対応するグリス注入作業穴が前記真空ケースに形成され、該グリス注入作業穴を気密シールする蓋が前記真空ケースに着脱自在に設けられたことを特徴とする真空ロボット。