特許
J-GLOBAL ID：200903090001520886
薄膜の付着力測定方法および測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-152614
公開番号（公開出願番号）：特開平6-341942
出願日： 1993年06月01日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：
【要約】【目的】 AE信号を用いて薄膜の付着力を測定する装置で精度を高める。【構成】 薄膜1bに押し付けられるAEセンサからなる圧子4と同構造の第2の圧子11を、薄膜1bに触れないようにして圧子4と並列に設ける。圧子4と第2の圧子11とを、圧子4の出力信号から第2の圧子11の出力信号に相当する信号を除く比較器12を介してAE解析装置9に接続した。AE解析装置9には、薄膜1bの剥離現象により生じる真のAE信号のみが入力される。このため、周囲の装置、設備の振動やそれらから発生する電磁波等に起因する雑音信号を除去可能となり、薄膜の付着力を高精度に測定することができる。
請求項（抜粋）：
アコースティックエミッションを検出するセンサからなる圧子を薄膜が被覆された基板に押し付け、この圧子の出力信号を解析装置に入力して前記薄膜の付着力を測定する薄膜付着力測定装置において、前記圧子を支持する支持部材にこの圧子と同じ構造をもつアコースティックエミッションセンサを圧子と同一方向へ指向させて取付け、前記圧子とこのアコースティックエミッションセンサとを、圧子の出力信号からアコースティックエミッションセンサの出力信号に相当する信号を除く比較器を介して前記解析装置に接続したことを特徴とする薄膜の付着力測定装置。
IPC (3件)：
G01N 19/04
, G01N 3/00
, G01N 29/14
