特許

J-GLOBAL ID：200903090003889380

真空吸着パッド

発明者： 勝 善明 ,  石橋 明 ,  野田 彰一 ,  小泉 清秀
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立デバイスエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-345151
公開番号（公開出願番号）：特開平11-170188
出願日： 1997年12月15日
公開日（公表日）： 1999年06月29日
要約：

【要約】【課題】従来のゴム製ベローズ式の真空吸着パッドをそのまま使用でき、ガラス基板あるいはウエハ等の薄板を所定位置に吸着支持する位置吸収能力を向上させた真空吸着パッドを提供する。【解決手段】移載アーム21の内部に真空路21aを有し、この真空路21aに連通して当該移載アームの表面に開放した開口21bに少なくとも吸着面を露呈して嵌合してなる真空吸着パッドにおいて、前記真空吸着パッドは、基部1aと上部の径小開口部1bを有するベローズ1と、この基部1aを前記開口21bに嵌合すると共に前記真空路21aと前記ベローズの内部を連通する導口2aをもつ吸引基部部材2と、前記ベローズ1の上部に有する径小開口部1bに係合する凹部3cと前記ベローズ1の内部と当該ベローズ1の上方空間を連通する導口3bを有すると共に開口部に吸着面3aをもつ吸着部3とから構成した。

請求項（抜粋）：

移載アームの内部に真空路を有し、この真空路に連通して前記移載アームの表面に開放した開口に少なくとも吸着面を露呈して設置してなる真空吸着パッドにおいて、前記真空吸着パッドは、基部と上部径小開口部を有するベローズとこのベローズの基部を前記移載アームの表面に開放した開口に嵌合すると共に前記真空路と前記ベローズの内部を連通する導口をもつ吸引基部部材と、前記ベローズの上部に有する径小開口部に係合する凹部と前記ベローズの内部と当該ベローズの上方空間を連通する導口を有すると共に上部に吸着面をもつ樹脂材料からなる吸着部とから構成したことを特徴とする真空吸着パッド。