圧電振動子及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-229064
公開番号（公開出願番号）：特開2003-046366
出願日： 2001年07月30日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：

【要約】【課題】小型の圧電基板の面取り加工寸法精度の低下による圧電振動子の共振特性や周波数温度特性のバラツキ、等価回路定数値のバラツキ等の問題を防止することを可能とするエネルギー閉じ込めに必要な圧電基板の構造的な加工を高精度に再現性良く実現し、且つ、量産においても好適な圧電振動子及びその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】厚み滑り振動を主振動として励振する圧電基板を有する圧電振動子において、圧電基板両主面上中央部に励振用電極を形成すると共に、圧電基板長手方向端部と前記励振用電極との間に、フォトリソグラフィ技法とエッチング技法とを用いて複数の溝または孔を形成する、或はイオン打込みによりドーピング層を形成することによって励振用電極直下の振動領域にエネルギー閉じ込めを可能せしめた。

請求項（抜粋）：

厚み滑り振動を主振動とする圧電振動子において、圧電基板両主面上中央部に励振用電極を形成すると共に、前記圧電基板の厚み滑り振動の伝搬方向端部と前記励振用電極との間に複数の溝を設けたことを特徴とする圧電振動子。

IPC (5件)：

H03H 9/19 , H01L 41/09 , H01L 41/18 , H01L 41/22 , H03H 3/02

FI (5件)：

H03H 9/19 D , H03H 3/02 C , H01L 41/08 C , H01L 41/22 Z , H01L 41/18 101 A

Fターム (13件)：

5J108AA01 , 5J108BB02 , 5J108CC04 , 5J108CC09 , 5J108CC10 , 5J108DD02 , 5J108EE03 , 5J108EE18 , 5J108EE19 , 5J108FF11 , 5J108FF14 , 5J108FF15 , 5J108GG03

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭60-058709
特開昭60-005619
圧電共振部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-021044 出願人：株式会社村田製作所

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審査官引用 (5件)

特開昭60-058709
特開昭60-005619
圧電共振部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-021044 出願人：株式会社村田製作所

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