特許
J-GLOBAL ID：200903090007426687
電気特性検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-321021
公開番号（公開出願番号）：特開平6-167525
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：
【要約】【目的】電気特性検査において1回の検査ワークの載置で、複数の種類の検査が行える効率の良い検査装置を提供する。【構成】検査テーブル20上に二つの移動体1、1があり、X方向への移動が可能になった移動体1、1の上にプローブ保持体3、3がY方向へ移動可能になって設けられている。二つのプローブ4B、4Tが鉛直方向へ回転可能に支持されている。一方のプローブ4Bが下方に回転されて液晶パネル8の検査部位と接触して検査中の時、他方のプローブ4Tは液晶パネル8から離反している。
請求項（抜粋）：
検査対象のワークが載置されるテーブルと、該テーブルの表面に沿って第1の方向に往復移動可能になった移動体と、該移動体に設けられ、該第1の方向と直交する第2の方向に往復移動可能になったプローブ保持体と、該プローブ保持体に保持され、先端に針状電極を有するプローブと、該プローブ保持体に設けられ、該ワークの検査部位に該プローブの該針状電極が接触する位置と離反する位置とにわたって該プローブを回転させる回転機構とを備えた電気特性検査装置。
IPC (3件)：
G01R 31/02
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1343
