特許
J-GLOBAL ID：200903090007537640
長尺材料の表面処理用治具、該冶具の補助具及び長尺材料の両面に薄膜を形成する方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
釜田 淳爾 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-051004
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252580
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【課題】 半導体レーザバー等の長尺材料の片面側の表面処理が完了した後に、各長尺材料の裏返し作業をすることなく、直ちに長尺材料の反対面側の表面処理を行うことができるような長尺材料の表面処理用治具を提供すること。【解決手段】 互いに対向する第1組の枠部材3と互いに対向する第2組の枠部材5の組み合わせにより枠体7が構成され、該枠体の開放している内側に材料配置領域28が形成されている。該領域の第1組の枠部材3の内側にスペーサ61の両端を保持できる保持手段19,39が設けられ、また第2組の少なくとも一方の枠部材5には、材料配置領域28内に保持手段19,39の延びる方向とほぼ平行な方向に突出可能に設けられる押圧手段29,35が設けられる。
請求項（抜粋）：
互いに対向する第1組の枠部材と互いに対向する第2組の枠部材の組み合わせにより構成される内側が開放されている枠体と、該枠体の内側に形成されている材料配置領域と、前記材料配置領域において前記第1組の枠部材の内側に設けられ、スペーサの両端を保持することができる保持手段と、前記第2組の少なくとも一方の枠部材に設けられ、前記材料配置領域内に前記保持手段の延びる方向とほぼ平行な方向に前記スペーサを押圧可能に設けられる押圧手段とを備えることを特徴とする長尺材料の表面処理用治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/18 618
, C23C 14/50 Z
4K029AA04
, 4K029AA25
, 4K029BB04
, 4K029BD01
, 4K029CA05
, 4K029DA10
, 4K029JA01
, 4K029JA06
, 5F073DA33
, 5F073DA35
, 5F073EA28
