特許
J-GLOBAL ID：200903090009049651
ジンバル付きMEMSミラー・ヒンジ用折り返し縦トーション・ヒンジ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山川 政樹
, 山川 茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-570168
公開番号（公開出願番号）：特表2005-517990
出願日： 2003年02月18日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：
円形ミラー(12)は、対向しているが中心軸からずれた位置(36)および(37)で、複合縦ヒンジ(40)および(42)によってジンバル(44)に連結されている。
請求項（抜粋）：
平行プレート静電動作用の二重ジンバル付きミクロ機械加工ミラー構造であって、
静電電極を埋め込んだミクロミラー・アレイの基板と、
前記基板の前記アレイ内のミラーと、
前記ミラーの周りのジンバルと、
複数のトーション・ヒンジ要素が各ヒンジ構造の回転軸と平行な方向に配置された複数の折り返された縦ジンバル・ヒンジ構造であって、第1の対の折り返された縦ジンバル・ヒンジ構造が前記ミラーを前記ジンバルに連結し、第2の対の前記折り返された縦ジンバル・ヒンジ構造が前記基板を前記ジンバルに連結するようにジンバル・リング上に4つの位置で配置されるジンバル・ヒンジ構造とを備えるミラー構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2H041AA14
, 2H041AA18
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ08
