特許
J-GLOBAL ID：200903090014871530
光検出系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-052233
公開番号（公開出願番号）：特開平5-258338
出願日： 1992年03月11日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】【構成】半導体レーザ1から光はコリメートレンズ2,ビームスプリッタ3を透過し、ガルバノミラー4で反射されて対物レンズ5により被観察物体6上に集光される。反射された光はビームスプリッタ3で反射され、集光レンズ7でディテクタアレイ8に集光される。ディテクタアレイの各セルの出力電圧は最大値検出回路9によりその最大値のみを出力する。ディテクタアレイの各セルの大きさは集光レンズ7による集光スポットサイズより小さく設定される。【効果】ディテクタセルで検出される光の物体面上での実効的な点像分布は、集光されている点像分布の2乗となるため分解能が向上する。
請求項（抜粋）：
光源と、前記光源からの光を物体に集光して照射させる第1の光学系と、前記光源に照射されて反射または透過した光を再び集光する第2の光学系と、前記第2の光学系による集光面に置かれた光検出器と、前記物体上に集光された光を前記物体上で走査する光偏向機構とよりなる光検出系であって、前記光検出器が集光面内において2次元アレイ状に分割された構造を有し、その分割された一つの前記光検出器の大きさが前記光検出器上に集光される光スポットの大きさより小さいことを特徴とする光検出系。
IPC (2件)：
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