照明方法および照明装置および投影露光装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-018676
公開番号（公開出願番号）：特開平5-217854
出願日： 1992年02月04日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】投影式露光装置、パターン検査装置等に用いられる照明光学系として、光源24から出射した光を光ファイバーを束ねた光ファイバー束1の入射端に集め、この光ファイバー束1の出射端を複数の小光ファイバー束に分岐し、この複数の小光ファイバー束端の相対的な位置を小光ファイバー束相対位置可変機構10によって制御する。【効果】比較的簡単な構成で、光の損失を生じることなく照明光の指向性を照度分布を一様に保ち変化させることが可能となり、1つの露光装置、あるいは検査装置や表示装置で各種の対象パターンに対し、最適な照明を効率よく実現できる。このため、露光装置、検査装置、あるいは表示装置の解像性能の大幅な向上と共に、これら装置に用いる光源の低出力化、または露光装置と検査装置にあっては高スループット化が実現できる。

請求項（抜粋）：

露光光源と、該露光光源より出射した光をマスクまたはレチクルに照射せしめるべく、前記露光光源より出射した光が入射される入射面を有する複数の光ファイバーを束ねた光ファイバー束部と該光ファイバー束部から分岐され、出射面を有する複数個の小さい束の小光ファイバー束部とから構成された光ファイバーを備えた照明光学系と、該照明光学系により照明されてマスクまたはレチクルを透過した光を被露光物体上にマスクまたはレチクルのパターン像として投影せしめる投影露光系とを備えたことを特徴とする投影式露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G02B 6/00 346 , G02B 27/18

FI (2件)：

H01L 21/30 311 S , H01L 21/30 311 L

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-101148
特開昭64-077124
特開平4-225358

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