特許

J-GLOBAL ID：200903090021321502

基準電極付き容量式加速度センサ

発明者： 日笠 浩一
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 和田 成則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-124969
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322920
出願日： 1992年05月18日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：

【要約】【目的】 可変電極および基準電極が捕らえる浮遊静電容量や、固定電極間等に生じる寄生静電容量等の不要な電気的干渉を確実に相殺する。【構成】 第1の固定電極41および導電線41aと第2の固定電極42および第2の導電線42aとの間で、かつ、双方から等間隔離れた位置に接地あるいは等電位にした導電部43を設ける。弾性梁31aと導電線41aとが対向する面積と、弾性梁31bと導電線42aとが対向する面積とが同一になるように、導電線41a,42aを配線する。第1の固定電極41の面積および第2の固定電極42の面積を同一にする。

請求項（抜粋）：

測定対象である加速度に応じて弾性梁を介し変位する可動電極、および加速度に応じて変位しないよう固定した基準電極が設けられた上側基板と、上記可動電極および基準電極と対向する位置各々に第1、第2の固定電極が設けられると共に、第1、第2の固定電極各々に外部へ静電容量を取り出すための第1、第2の導電線が配線された下側基板とからなり、可動電極と第1の固定電極との間の可変静電容量から基準電極と第2の固定電極との間の基準静電容量を減算した値に基づき加速度を検出する基準電極付き容量式加速度センサにおいて、第1の固定電極および導電線と、第2の固定電極および導電線との間で、かつ、双方から等間隔離れた位置に、接地あるいは等電位にした導電部を設けた、ことを特徴とする基準電極付き容量式加速度センサ。