特許
J-GLOBAL ID：200903090028114103
パターン形成装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-363561
公開番号（公開出願番号）：特開2006-188054
出願日： 2005年12月16日
公開日（公表日）： 2006年07月20日
要約：
【課題】スタンプを用いたパターン形成装置において、スタンプとインキパッド間およびスタンプと被印刷基材間の平行を正確に保つことができるようにする。【解決手段】被印刷基材20を固定するための被印刷基材固定ステージ10を球面座50上に載置して移動装置60により上下動可能にすると共に、インキパッド30を固定するためのインキパッド固定ステージ11を球面座51上に載置して移動装置61により上下動可能にする。上記構成によれば、スタンプ40をインキパッド30上に押し付けた時、球面座50が動いてスタンプ40とインキパッド30とが平行になり、このとき球面座50を固定する。同様に、スタンプ40を被印刷基材20上に押し付けた時、球面座51が動いてスタンプ40と被印刷基材20とが平行になり、このとき球面座51を固定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基台上に、
インキパッド、該インキパッドを固定するためのインキパッド固定ステージ、該インキパッド固定ステージを移動するためのインキパッド固定ステージ調整部を備えたインキパッドの支持機構と、
被印刷基材を固定するための被印刷基材固定ステージ、該被印刷基材固定ステージを移動するための被印刷基材固定ステージ調整部を備えた被印刷基材の支持機構と、
スタンプと、
前記インキパッドの支持機構と前記被印刷基材の支持機構の間を移動可能なスタンプ支持機構と、
前記スタンプと前記被印刷基材、および、前記スタンプと前記インキパッドとの位置合わせ機構と、
前記スタンプを前記インキパッドに接触させるスタンプとインキパッドの接触機構、および、前記スタンプを前記被印刷基材に接触させるスタンプと前記被印刷基材の接触機構を備えたパターン形成装置において、
前記インキパッド固定ステージ調整部により前記インキパッド固定ステージをX軸およびY軸およびZ軸周りに回転および垂直方向に変位させ、また、前記被印刷基材固定ステージ調整部により前記被印刷基材固定ステージをX軸およびY軸およびZ軸周りに回転および垂直方向に変位させることを特徴とするパターン形成装置。
IPC (4件)：
B41F 17/34
, H05K 3/12
, H01L 29/786
, H01L 21/336
B41F17/34 C
, H05K3/12 630Z
, H01L29/78 618B
, H01L29/78 618A
, H01L29/78 627C
5E343AA02
, 5E343BB16
, 5E343BB72
, 5E343ER56
, 5E343FF03
, 5E343FF24
, 5E343FF28
, 5E343GG08
, 5F110AA30
, 5F110GG05
, 5F110GG42
, 5F110QQ06
