特許
J-GLOBAL ID：200903090029440950
クリーンルーム用ファンフィルターユニット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 冨三郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-341670
公開番号（公開出願番号）：特開平6-159752
出願日： 1992年11月27日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 チャンバー内に吸音材を貼着した遮蔽板を取り付けることにより吹出空気の風速分布を均一化ならしめると共に、発生騒音の低いクリーンルーム用ファンフィルターユニットを提供すること。【構成】 下部が開口したチャンバー内部の天板中央部側にインレットコーンと水平回転するランナーから成る送風機を取り付け、下部開口部にフィルターを取り付けたクリーンルーム用ファンフィルターユニットにおいて、送風機とフィルターの間の空間部にランナーを囲むように傾斜したフランジを有する吸音材を貼着した第一遮蔽板を取り付けると共に、チャンバー側板には第一遮蔽板のランジに一定の間隔をおいて水平乃至傾斜した吸音材を貼着した第二遮蔽板を取り付けたことを特徴とする。【効果】 吹出空気の風速分布を均一化することができ、吸音効果を高め、発生騒音を低減することができる。
請求項（抜粋）：
下部が開口したチャンバー内部の天板中央部側にインレットコーンと水平回転するランナーから成る送風機を取り付け、下部開口部にフィルターを取り付けたクリーンルーム用ファンフィルターユニットにおいて、送風機とフィルターの間の空間部にランナーを囲むように傾斜したフランジを有する吸音材を貼着した第一遮蔽板を取り付けると共に、チャンバー側壁には第一遮蔽板のフランジに一定の間隔をおいて水平乃至傾斜する吸音材を貼着した第二遮蔽板を取り付けたことを特徴とするクリーンルーム用ファンフィルターユニット。
IPC (3件)：
F24F 7/06
, B01D 46/52
, E04H 5/02
