特許

J-GLOBAL ID：200903090031244514

表示パネル用プローバ

発明者： 長谷川 義栄 ,  長谷川 昌志
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-108750
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300781
出願日： 1993年04月13日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】 マニピュレータを搭載した複数のプローブアッセンブリを備える表示パネル用プローバにおいて、マニピュレータとプローブ針支持体との間に荷重吸収装置を設けることにより、プローブ針に必要以上の荷重がかからないようにする。【構成】 プローブ針支持体28は、圧縮スプリング54を備えた2本のネジシャフト56と、1本の太いガイドシャフト58とによって、中間ブロック27に接続されている。ナット60をある程度まで締めると、プローブ針支持体28には圧縮スプリング54によって下方に予荷重が付与される。各プローブ針48が電極から受ける荷重の合計が上記予荷重よりも大きくなると、圧縮スプリング54に対抗してプローブ針支持体28が上方に移動し、予荷重以上の荷重がプローブ針支持体28に作用するのを防止できる。したがって、各プローブ針の受ける荷重も限界荷重を越えない。

請求項（抜粋）：

表示パネルの被測定電極に適合するように配列された複数のプローブ針を備える複数のプローブアッセンブリと、この複数のプローブアッセンブリを取り付けることができて表示パネルの被測定電極に対して各プローブアッセンブリのプローブ針を同時に接触させるようにした取付板と、各プローブアッセンブリに搭載されてプローブ針の先端位置を調整可能にするマニピュレータとを備えてなる表示パネル用プローバにおいて、プローブ針を支持するプローブ針支持体とマニピュレータとの間に荷重吸収装置を設けたことを特徴とする表示パネル用プローバ。

IPC (3件)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/28 ,  G09F 9/00 352

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-273168
  
• 特開平3-218472
  
• 特開平4-340734