特許
J-GLOBAL ID：200903090034060503
収差測定装置および収差測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-035379
公開番号（公開出願番号）：特開2008-249691
出願日： 2008年02月16日
公開日（公表日）： 2008年10月16日
要約：
【課題】 例えば実際の使用条件に近い光入射状態で結像光学系の収差を測定することのできる収差測定装置。【解決手段】 結像光学系(10)の収差を測定する本発明の収差測定装置は、結像光学系の収差の測定に使用される測定光および該測定光とは別の背景光を結像光学系に供給する照明系(1,2)と、結像光学系を通過した測定光と背景光とを分離する分離部材(3)と、分離部材により分離された測定光に基づいて結像光学系の収差を測定する測定部(4)とを備えている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
結像光学系の収差を測定する収差測定装置であって、
前記結像光学系の収差の測定に使用される測定光と、該測定光とは別の背景光とを前記結像光学系に供給する照明系と、
前記結像光学系を通過した前記測定光と前記背景光とを分離する分離部材と、
前記分離部材により分離された前記測定光に基づいて前記結像光学系の収差を測定する測定部とを具備する収差測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (1件)：
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