特許

J-GLOBAL ID：200903090035811391

ダスト除去装置及びダスト除去方法

発明者： 曽我 伸一 ,  渡辺 昭仁 ,  斉藤 亮二
出願人/特許権者： 豊実精工株式会社 ,  株式会社ニックス
代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-146862
公開番号（公開出願番号）：特開2003-334499
出願日： 2002年05月21日
公開日（公表日）： 2003年11月25日
要約：

【要約】【課題】 ワークに付着したダストの除去を効果的に行え、装置全体を小型化することが可能であるダスト除去装置を提供する。ワークに付着したダストの除去を効果的に行うことができるダスト除去方法を提供する。【解決手段】 ワークを搬送するワーク搬送部4と、搬送されるワークにエアーを吹き付けるエアーブロー部5と、搬送されるワークに対し接触可能に配設され、当該ワークの搬送方向とは逆方向に回転する回転ブラシ6と、回転ブラシ6に付着したダスト100及びエアーブロー部5からワークに吹き付けられたエアーを吸引除去する集塵部7と、を備えたダスト除去装置1である。

請求項（抜粋）：

ワークに付着したダストを除去するダスト除去装置であって、前記ワークを搬送するワーク搬送部と、前記搬送されるワークにエアーを吹き付けるエアーブロー部と、前記搬送されるワークに対し接触可能に配設され、当該ワークの搬送方向とは逆方向に回転する回転ブラシと、前記回転ブラシに付着したダスト及び前記エアーブロー部からワークに吹き付けられたエアーを吸引除去する集塵部と、を備えたダスト除去装置。

IPC (5件)：

B08B 5/00 ,  B08B 1/02 ,  B08B 1/04 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500

FI (5件)：

B08B 5/00 A ,  B08B 1/02 ,  B08B 1/04 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500

Fターム (13件)：

2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JC19 ,  3B116AA01 ,  3B116AA46 ,  3B116AB14 ,  3B116BA02 ,  3B116BA14 ,  3B116BB22 ,  3B116BB72 ,  3B116CD11 ,  3B116CD41

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭64-051180
  
• 基板洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-348062   出願人：株式会社東芝, 東芝電子エンジニアリング株式会社