特許

J-GLOBAL ID：200903090036075796

外力検知センサ

発明者： 小中 義宏 ,  高田 英一
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-209516
公開番号（公開出願番号）：特開2000-046558
出願日： 1998年07月24日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】角速度、加速度などの外力の検出感度および角度分解能を向上させた外力検知センサを提供する。【解決手段】 枠型支持部1に結合している複数個の梁2〜5が中心部で共通結合し、この共通結合部6には振動重り8が設けられている。梁2〜5の梁幅を先端側から根元側に向けて広くし、それに応じて、駆動電極d1、d2の面積も大きくし、特に、外部応力の大きい根元部にその面積に相当する検出電極s1、s2を設けた外力検知センサ。

請求項（抜粋）：

支持部と、この支持部に根元側が固定されると共に圧電素子が設けられた梁と、この梁の先端側に設けられた重りと、からなる外力検知センサにおいて、前記梁が先端側から根元側に向けて梁幅が広くなっていることを特徴とする外力検知センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01C 21/00 ,  G01P 9/04

FI (3件)：

G01C 19/56 ,  G01C 21/00 A ,  G01P 9/04

Fターム (10件)：

2F029AA02 ,  2F029AB01 ,  2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB02 ,  2F105BB12 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13