顕微鏡を用いた3次元画像認識装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-211652
公開番号（公開出願番号）：特開平10-054709
出願日： 1996年08月09日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】対象物の3次元的な特徴を定量認識することができる顕微鏡を用いた3次元画像認識装置を提供する。【解決手段】XYステージ上に固定された検査対象物を左右2方向から顕微鏡20A、20Bを介してCCDカメラ22A、22Bによって撮像し、左右の画像データを取り込み、対象物の所定位置が左右の画像データ上のどの位置に投影されるかを検出する。そして、この投影された位置から対象物の前記所定位置の3次元座標を算出する。尚、測定を行う前に、顕微鏡光学系の幾何学的な位置を精度良く標定する必要があるが、本発明では、理想平面の対象物に精度良く寸法が設定されている格子縞を投影してこの格子縞をCCDカメラ22A、22Bで撮像し、この格子点の画像上の位置を測定する。そして、このこの格子点の画像上の位置と、対象物上の格子点の3次元座標とから標定要素を決定する。

請求項（抜粋）：

第1の光軸方向から対象物の検査領域を拡大して撮像し、第1の画像データを得る第1の顕微鏡と、前記第1の光軸方向と異なる第2の光軸方向から前記対象物の検査領域と同一の検査領域を拡大して撮像し、第2の画像データを得る第2の顕微鏡と、予め複数点の3次元座標が決定されている基準対象物を前記第1、第2の顕微鏡によって撮像し、該第1、第2の顕微鏡によって得られた第1、第2の画像データから前記複数点に対応する前記第1、第2の画像データ上の位置を測定し、該複数点に対応する前記第1、第2の画像データ上の位置と前記複数点の3次元座標とから前記第1、第2の顕微鏡の標定要素を決定する標定要素決定手段と、前記第1、第2の画像データ上の対応する位置及び前記標定要素決定手段によって決定された前記第1、第2の顕微鏡の標定要素に基づいて前記対象物の所定位置の3次元座標を算出する3次元座標算出手段と、からなる顕微鏡を用いた3次元画像認識装置。

IPC (5件)：

G01B 11/24 , G01B 11/30 , G02B 21/00 , G06T 7/00 , H01L 21/66

FI (5件)：

G01B 11/24 C , G01B 11/30 D , G02B 21/00 , H01L 21/66 J , G06F 15/62 415

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開平2-071109
特開平3-156306
特開平4-191607

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審査官引用 (4件)

特開平3-156306
特開平2-071109
特開平3-156306

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