特許
J-GLOBAL ID：200903090045432690
薄膜気相成長装置のサセプタ回転支持構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-190724
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129208
出願日： 1991年07月04日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】【目的】 複数枚のウエハを水平面上に並べて同時に薄膜成長させる薄膜気相成長装置に於いて、ウエハを自動搬送することができるという特徴を失うことなく、ウエハを自転させ公転させることができるようにすること。【構成】 公転する軸の上にキャリヤを設けここに遊星歯車を有するサセプタ受け歯車を軸支する。サセプタ受け歯車の上により広い直径を有するサセプタを置く。サセプタはトレイの段部に引っ掛かるので、トレイを持ち上げるとサセプタが、サセプタ受け歯車から離れて持ち上がる.遊星歯車は中央にある静止した太陽歯車と噛み合っている。キャリヤが公転するとサセプタ受け歯車が自転する。
請求項（抜粋）：
真空チャンバの中へ原料気体を導入し加熱されたサセプタの上に置かれた基板の上へ反応生成物の薄膜を成長させる事とした薄膜気相成長装置のサセプタ回転支持構造であって、筒状で鉛直方向に設けられた鉛直軸のまわりに回転する事のできる公転軸と、公転軸の上端によって固定支持されるより直径の大きい筒状体である支持筒と、円板状であってサセプタが上から入るような段部を有する挿入穴が複数個切欠かれており支持筒の上端に着脱可能に戴置できるトレイと、公転軸の内部を通って鉛直方向に設けられ回転しない固定軸と、固定軸の上端に直接或は間接に設けられる中心軸と、中心軸の上端のトレイとほぼ同じ高さに固定される太陽歯車と、支持筒の上端に於いて中心方向に向けて固定され先端に傾斜穴を有する複数のキャリヤと、円形であって上面に凹部を有し下面中心に下向き突起を有し周囲に遊星歯車を刻んでありトレイの挿入穴に遊嵌され前記キャリヤの傾斜穴に下向き突起が挿入され遊星歯車が前記太陽歯車に噛合うようにした複数のサセプタ受け歯車と、円形であってトレイの挿入穴の段部よりも大きい直径を有し上面に基板を支持し前記サセプタ受け歯車の凹部に戴置されるべき複数のサセプタとよりなり、公転軸が回転する事によりサセプタが公転自転するようにした事を特徴とする薄膜気相成長装置のサセプタ回転支持構造。
IPC (4件)：
H01L 21/205
, C23C 14/50
, F16H 1/28
, H01L 21/22
