特許
J-GLOBAL ID：200903090051031576

金属酸化物膜およびその製造方法

発明者：
飯尾 圭市

飯尾 圭市 について

, 
伊藤 大

伊藤 大 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-159006
公開番号（公開出願番号）：特開2005-336573
出願日： 2004年05月28日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：
【課題】 本発明は、大きい比表面積を有し、粒界抵抗が小さい金属酸化物膜を提供することにある。また、前記金属酸化物膜の製造方法を提供するものである。【解決手段】 本発明では、金属酸化物微粒子よりなる金属酸化物膜において、金属酸化物微粒子の粒径が1〜100nmの範囲にある一次粒子、およびその粒子の凝集により生成した粒径が500nm〜5μmの範囲にある二次粒子からなることを特徴とする金属酸化物膜を提供するものである。また、金属酸化物微粒子よりなる金属酸化物膜において、金属酸化物微粒子の粒径が1〜100nmの範囲にある一次粒子のみからなる金属酸化物膜、一次粒子とその粒子の凝集により生成した粒径が500nm〜5μmの範囲にある二次粒子とからなる金属酸化物膜を順に積層させてなることを特徴とする金属酸化物膜を提供するものである。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
少なくとも基材上に形成された金属酸化物微粒子よりなる金属酸化物膜において、金属酸化物微粒子の粒径が1〜100nmの範囲にある一次粒子、およびその粒子の凝集により生成した粒径が500nm〜5μmの範囲にある二次粒子からなることを特徴とする金属酸化物膜。
IPC (5件)：
C23C26/00 ,  B05D7/24 ,  C01G23/04 ,  H01L31/04 ,  H01M14/00
FI (5件)：
C23C26/00 A ,  B05D7/24 302C ,  C01G23/04 C ,  H01M14/00 P ,  H01L31/04 Z
Fターム (29件)：
4D075DC21 ,  4D075EA12 ,  4D075EC02 ,  4D075EC07 ,  4D075EC53 ,  4G047CA02 ,  4G047CB05 ,  4G047CC03 ,  4G047CD02 ,  4K044AA12 ,  4K044AB02 ,  4K044BA12 ,  4K044BB04 ,  4K044BC14 ,  4K044CA13 ,  4K044CA29 ,  4K044CA53 ,  4K044CA62 ,  5F051AA14 ,  5F051FA30 ,  5H032AA06 ,  5H032AS16 ,  5H032BB02 ,  5H032BB05 ,  5H032EE02 ,  5H032EE04 ,  5H032HH00 ,  5H032HH04 ,  5H032HH07
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特許第2664194号公報
審査官引用 (5件)
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