特許

J-GLOBAL ID：200903090055754874

感光性樹脂組成物及びそれを用いるパターン化されたポリイミド皮膜の形成方法

発明者： 加藤 英人
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 岩見谷 周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-192451
公開番号（公開出願番号）：特開平8-076376
出願日： 1995年07月05日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【課題】 水性の液により短時間で現像可能であるとともに、厚膜形成時も十分な感度を有し、容易にパターン化されたポリイミド皮膜を形成することができる感光性樹脂組成物、及び該組成物を用いるパターン化された耐熱性ポリイミド皮膜の形成方法を提供する。【解決手段】 感光性樹脂組成物は(A) 特定のポリイミド前駆体と、(B) 増感剤及び/又は光重合開始剤とを含有してなる。またパターン化された耐熱性ポリイミド皮膜の形成方法は前記組成物をシリコンウェーハ等の基板上に塗布、乾燥して塗膜を形成し、これを露光し、アルカリ水溶液で現像し、得られたパターン化されたポリイミド皮膜を熱硬化させる。

請求項（抜粋）：

(A) 下記一般式(1) :【化1】〔式中、Xは芳香環を有する4価の有機基であり、Yは、芳香環を有する2価の有機基又はシロキサン結合を有する2価の有機基であり、二つのZは同一でも異なってもよく、水素原子又は下記一般式(2) :【化2】(ここで、Rは水素原子又はメチル基である。)で表されるアクリロキシ基又はメタクリロキシ基を含有する1価の有機基である。〕で表される構成単位からなるポリイミド前駆体であって、前記一般式(2) で表される1価の有機基の割合が、該ポリイミド前駆体に含まれる全てのZの中で少なくとも30モル%であるもの、及び(B) 増感剤、光重合開始剤、又はそれらの組み合わせを含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (14件)：

G03F 7/027 514 ,  C08G 73/10 NTF ,  C08L 79/08 LRB ,  G02F 1/1337 525 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/038 504 ,  G03F 7/075 511 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312 ,  H01L 23/29 ,  H01L 23/31 ,  H05K 3/28

FI (2件)：

H01L 21/30 502 R ,  H01L 23/30 D

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特公平3-050786
  
• 特公昭60-023341
  
• 特公昭61-016970