特許
J-GLOBAL ID：200903090069337001
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-067916
公開番号（公開出願番号）：特開平8-262037
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【目的】この発明は、応答性を速め、探針や試料表面に損傷を与えず、制御系パラメータの調整を不要とするため、検出した圧電体の変位と規範モデルの出力を比較し、その偏差量を制御して圧電体の機械的な共振ピークを抑える。【構成】プローブ変位検出部15から、カンチレバー14の探針の変位を検出し、カンチレバーのZ方向変位制御部16で設定したリファレンス値と比較し、更にその偏差を積分し印加電圧を生成する。この印加電圧を、モデル追従制御部18内のローパスフィルタ23を介して、圧電体3の規範モデル出力Zmを得る。この出力Zmと、圧電体Z方向の変位検出部20により圧電体変位センサ19からから得た圧電体3のZ方向の変位の偏差を、比較器24及び比例微分制御部25で演算する。そして、比例微分制御部25の出力とカンチレバーのZ方向変位制御部16とを比較器26で比較した後、圧電体3の印加電圧を制御する。
請求項（抜粋）：
圧電体を用いた走査型プローブ顕微鏡に於いて、上記圧電体のZ方向の変位を制御すべく所定の印加電圧を与えるZ方向変位制御手段と、上記圧電体のZ方向の変位を検出するZ方向変位検出手段と、上記Z方向変位制御手段から出力される電圧に基いて上記圧電体の規範モデルの変位を算出し、この規範モデルの変位と上記Z方向変位検出手段で検出された変位とに基いて、上記Z方向変位制御手段から出力される電圧を上記圧電体の規範モデル出力に追従するように制御して上記圧電体に与える追従制御手段と具備することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 37/28
G01N 37/00 C
, G01B 7/34 Z
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/28 Z
