特許
J-GLOBAL ID:200903090073498990
マイクロレンズおよびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
米澤 明 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-197959
公開番号(公開出願番号):特開平5-040216
出願日: 1991年08月07日
公開日(公表日): 1993年02月19日
要約:
【要約】【目的】 レンズの形状を非球面化することにより開口率の大きな、レンズを得る。【構成】 基材上に合成樹脂からなるマイクロレンズ形成する方法において、マイクロレンズ用透明樹脂層3上に熱溶融によって転写用マイクロレンズパターン2を形成し、エッチバック法によって転写用マイクロレンズパターンを転写する際に、マイクロレンズ形成用樹脂層のエッチング速度を転写用マイクロレンズパターンのエッチング速度よりも大きくし、転写されて形成されるレンズを楕円レンズ6とする。
請求項(抜粋):
固体撮像素子基板上に形成した合成樹脂からなるマイクロレンズにおいて、マイクロレンズの形状が楕円の一部にほぼ合致する形状からなり、マイクロレンズの焦点距離が前記固体撮像素子の受光面近傍に配置されていることを特徴とするマイクロレンズ。
IPC (7件):
G02B 6/42
, G02B 1/04
, G02B 3/00
, G02B 3/02
, G02B 13/18
, H01L 27/14
, H04N 5/335
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開昭60-053073
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特開昭62-014611
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