有機電界発光素子の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-344005
公開番号（公開出願番号）：特開2000-173769
出願日： 1998年12月03日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：

【要約】【課題】マスク法によって幅広い条件下で安定に高精度な微細パターニングが可能となる有機電界発光装置の製造方法を提供すること【解決手段】基板上に形成された第一電極上に少なくとも有機化合物からなる発光層を含む薄膜層を形成する工程と、第二電極を前記薄膜層上に形成する工程とを含む有機電界発光素子の製造方法であって、張力が加えられた状態で保持されたシャドーマスクを用いて前記発光層もしくは前記第二電極の少なくとも一方をパターニングすることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された第一電極上に少なくとも有機化合物からなる発光層を含む薄膜層を形成する工程と、第二電極を前記薄膜層上に形成する工程とを含む有機電界発光素子の製造方法であって、張力が加えられた状態で保持されたシャドーマスクを用いて前記発光層もしくは前記第二電極の少なくとも一方をパターニングすることを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。

IPC (3件)：

H05B 33/10 , G09F 9/30 349 , G09F 13/22

FI (3件)：

H05B 33/10 , G09F 9/30 349 Z , G09F 13/22 Z

Fターム (28件)：

3K007AB00 , 3K007AB04 , 3K007AB05 , 3K007BA06 , 3K007BB06 , 3K007CA01 , 3K007CA05 , 3K007CA06 , 3K007CB01 , 3K007DA00 , 3K007DB03 , 3K007EB00 , 3K007FA00 , 3K007FA01 , 3K007FA03 , 5C094AA05 , 5C094BA27 , 5C094EA05 , 5C094EB02 , 5C094FB01 , 5C094GB10 , 5C096AA00 , 5C096BA01 , 5C096CC07 , 5C096EA06 , 5C096EB00 , 5C096EB02 , 5C096EB13

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