特許

J-GLOBAL ID：200903090083527336

振動ミラーとその製造方法、光走査装置、画像形成装置

発明者： 佐藤 幸人
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 鈴木 誠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-125750
公開番号（公開出願番号）：特開2003-315724
出願日： 2002年04月26日
公開日（公表日）： 2003年11月06日
要約：

【要約】【課題】 可動ミラー部をねじり梁部を軸に振動させる振動ミラーにおいて、可動ミラー部の慣性モーメント減少のための凹部の形成に関連した加工の単純化、時間短縮を図る。【解決手段】 可動ミラー部101のミラー面107を、酸化膜105を介して接合された3層基板のシリコン基板104の接合面側に形成し、可動ミラー101の薄い領域(凹部)108の形成面をシリコン基板104の表面と同一面とする。シリコン基板104に対し、段差のあるエッチングスクを用いてエッチングを行うことにより、可動ミラー部101、ねじり梁部102a,102b及び支持枠部103の輪郭をなす貫通部を形成すると同時に可動ミラー部101の薄い領域(凹部)108を形成する。

請求項（抜粋）：

絶縁層を介して接合された2つのウエハ基板のうちの一方のウエハ基板より一体的に形成されてなる可動ミラー部及び該可動ミラー部と結合したねじり梁部、前記絶縁層及び前記2つのウエハ基板より一体的に形成されてなる、前記ねじり梁と結合した支持枠部とを有し、前記可動ミラー部のミラー面が前記一方のウエハ基板の前記絶縁層と接合される側の面に形成されたことを特徴とする振動ミラー。

IPC (8件)：

G02B 26/10 104 ,  G02B 26/10 ,  B41J 2/44 ,  B81B 3/00 ,  B81C 3/00 ,  G03G 15/04 111 ,  H04N 1/036 ,  H04N 1/113

FI (8件)：

G02B 26/10 104 Z ,  G02B 26/10 F ,  B81B 3/00 ,  B81C 3/00 ,  G03G 15/04 111 ,  H04N 1/036 Z ,  B41J 3/00 D ,  H04N 1/04 104 Z

Fターム (15件)：

2C362BA17 ,  2H045AB02 ,  2H045AB73 ,  2H076AB13 ,  2H076EA06 ,  5C051AA02 ,  5C051DB24 ,  5C051DC07 ,  5C051DE09 ,  5C072AA03 ,  5C072DA02 ,  5C072DA04 ,  5C072HA02 ,  5C072HA14 ,  5C072XA05