液晶表示装置及びその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-174190
公開番号（公開出願番号）：特開2001-350159
出願日： 2000年06月06日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：

【要約】【課題】Al配線の使用に際し、ヒロックを抑制し、透明導電膜と良好な電気的接触が可能で、配線の断面の端部の形状をテーパ状にし、簡易な工程で製造歩留まりの高い液晶表示装置の提供。【解決手段】液晶表示装置で、一対の基板のすくなくとも一方の上に配置した電極群は、少なくとも複数のゲート配線と、複数のゲート配線に交差するように形成された複数のデータ配線とにより構成され、複数のゲート配線と複数のデータ配線のそれぞれの交点に対応して薄膜トランジスタが配置され、ゲート配線とデータ配線の少なくとも一方は、Al合金膜と前記Al合金膜上にAl以外の金属種の上層膜を有する積層配線で構成され、積層配線を覆う絶縁膜に形成したコンタクトホールを介してAl合金膜と透明導電膜が接続された構成であり、Al合金膜中の添加元素の濃度分布は、Al合金膜の内層部より表層部において高いという構成。

請求項（抜粋）：

少なくとも一方が透明な一対の基板と、該一対の基板間に挟持された液晶層と、前記一対の基板の少なくとも一方の上に配置した電極群とを有し、前記電極群により前記液晶層の液晶を動かして表示を制御する液晶表示装置において、前記一対の基板の少なくとも一方の基板上に配置した前記電極群は、少なくとも複数のゲート配線と、該複数のゲート配線に交差するように形成された複数のデータ配線とにより構成され、前記複数のゲート配線と前記複数のデータ配線のそれぞれの交点に対応して薄膜トランジスタが配置され、前記ゲート配線と前記データ配線の少なくとも一方は、Al合金膜と前記Al合金膜上にAl以外の金属種の上層膜を有する積層配線で構成され、前記積層配線を覆う絶縁膜に形成したコンタクトホールを介して前記Al合金膜と透明導電膜が接続された構成であり、前記Al合金膜中の添加元素の濃度分布は、Al合金膜の内層部より表層部において高い液晶表示装置。

IPC (6件)：

G02F 1/1368 , G09F 9/30 330 , G09F 9/30 342 , H01L 21/3205 , H01L 21/768 , H01L 29/786

FI (9件)：

G09F 9/30 330 Z , G09F 9/30 342 Z , G02F 1/136 500 , H01L 21/88 R , H01L 21/90 A , H01L 29/78 616 U , H01L 29/78 616 V , H01L 29/78 617 U , H01L 29/78 617 M

Fターム (91件)：

2H092JA26 , 2H092JA34 , 2H092JA37 , 2H092JA41 , 2H092JA44 , 2H092JA46 , 2H092JB24 , 2H092JB33 , 2H092KA05 , 2H092KA18 , 2H092KB04 , 2H092MA05 , 2H092MA08 , 2H092MA17 , 2H092MA37 , 2H092NA27 , 5C094AA21 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA13 , 5C094EA03 , 5C094EA04 , 5C094EA05 , 5C094EA07 , 5C094FA02 , 5C094FB02 , 5C094FB12 , 5C094GB01 , 5C094JA08 , 5F033GG04 , 5F033HH10 , 5F033HH20 , 5F033HH38 , 5F033JJ01 , 5F033JJ38 , 5F033KK10 , 5F033KK20 , 5F033MM05 , 5F033MM08 , 5F033MM19 , 5F033NN17 , 5F033PP15 , 5F033QQ08 , 5F033QQ09 , 5F033QQ11 , 5F033QQ19 , 5F033RR06 , 5F033SS15 , 5F033VV06 , 5F033VV15 , 5F033WW02 , 5F033WW03 , 5F033WW04 , 5F033XX02 , 5F033XX09 , 5F033XX16 , 5F033XX20 , 5F033XX31 , 5F110AA26 , 5F110AA30 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE14 , 5F110EE23 , 5F110EE44 , 5F110FF03 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG45 , 5F110HK04 , 5F110HK06 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK22 , 5F110HK25 , 5F110HK35 , 5F110HL07 , 5F110HL23 , 5F110NN02 , 5F110NN24 , 5F110NN35 , 5F110NN72 , 5F110QQ05 , 5F110QQ09

前のページに戻る