特許

J-GLOBAL ID：200903090087763085

イオンビーム分析装置における対物スリット板のスリット間隙幅自動調整方法

発明者： 中田 健彦 ,  足立 成人
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 金丸 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-192266
公開番号（公開出願番号）：特開平6-036721
出願日： 1992年07月20日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：

【要約】【目的】 イオン源からのイオンビーム量が減少した場合における試料の分析作業能率の低下を防ぐとともに、イオン源からのイオンビーム量が過大となった場合における試料の破壊を防止する。【構成】 イオンビームが通過するスリット間隙の幅が調整可能とされた対物スリット板2ax1,2ax2、2ay1,2ay2を備えたイオンビーム分析装置において、イオンビームの照射に先立ち、予め、照射すべき量のイオンビームが試料Sに照射されたときにその試料に流れるべきイオン電流値を試料通電電流設定値として設定しておく。イオンビームの照射中、イオンビームが照射された試料に流れるイオン電流値を測定し、この試料通電電流測定値と前記試料通電電流設定値との差分を求め、この差分をなくすようにその差分値に応じて対物スリット板によるスリット間隙幅を自動調整する。

請求項（抜粋）：

スリット間隙の幅が調整可能とされた対物スリット板の前記スリット間隙にイオンビームを通過させることによってイオンビーム量を調整し、そのイオンビームを真空チャンバ内に配置された試料に照射して、ラザフォード後方散乱法、粒子励起X線分光法等によりその試料の分析を行うイオンビーム分析装置において、照射すべき量のイオンビームが試料に照射されたときにその試料に流れるべきイオン電流値を試料通電電流設定値として設定し、イオンビームの照射中に、イオンビームが照射された試料に流れるイオン電流値を測定し、この試料通電電流測定値と前記試料通電電流設定値との差分を求め、この差分をなくすようにその差分値に応じて前記対物スリット板によるそのスリット間隙幅を自動調整することを特徴とするイオンビーム分析装置における対物スリット板のスリット間隙幅自動調整方法。

IPC (5件)：

H01J 37/04 ,  G01N 23/225 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/09 ,  H01J 37/252

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-168953
  
• 特開平3-261058
  
• 特開平4-184850