特許
J-GLOBAL ID：200903090088445087
基板移載用フオーク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-188339
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013550
出願日： 1991年07月03日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：
【要約】【目的】 基板の移載時における発塵が抑制され、表面汚染によるウエハの不具合を生じさせない基板移載用フォークを提供することにある。【構成】 熱処理される複数の基板を、これらが収納された基板収納容器から熱処理用基板保持具に移載するとともに、熱処理された複数の基板を、これらが保持された前記熱処理用基板保持具から基板収納容器に移載するために用いられる基板移載用フォークであって、少なくとも基板の下面と対接する部分において、CVDコート処理が施されていることを特徴とする。また、上面には、基板の下面と対接する複数の凸面部が形成されていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
熱処理される複数の基板を、これらが収納された基板収納容器から熱処理用基板保持具に移載するとともに、熱処理された複数の基板を、これらが保持された前記熱処理用基板保持具から基板収納容器に移載するために用いられる基板移載用フォークであって、少なくとも基板の下面と対接する部分において、CVDコート処理が施されていることを特徴とする基板移載用フォーク。
IPC (2件)：
引用特許：
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