特許
J-GLOBAL ID:200903090096136182
感光性樹脂組成物
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-315979
公開番号(公開出願番号):特開平6-148881
出願日: 1992年10月30日
公開日(公表日): 1994年05月27日
要約:
【要約】【目的】 高感度でパターン形成性が良好で、めっき法においてめっき浴を汚染することなく、かつめっきもぐり現象もない優れた感光性樹脂組成物を提供すること。【構成】 ベースポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)、N-フェニルグリシン(C)、4,4-ジアルキルアミノベンゾフェノン(D)、pKaが2〜4の有機カルボン酸(E)、ベンゾトリアゾール誘導体(F)及びトリアジン誘導体(G)を含んでなる樹脂組成物において(C)ないし(G)の含有量が、(A)と(B)の合計量100重量部に対して、(C)が0.01〜5重量部、(D)が0.005〜1.0重量部、(E)が0.05〜5重量部、(F)が0.03〜1.0重量部、(G)が0.01〜1.0重量部よりなる。
請求項(抜粋):
ベースポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)、N-フェニルグリシン(C)、4,4-ジアルキルアミノベンゾフェノン(D)、pKaが2〜4の有機カルボン酸(E)、ベンゾトリアゾール誘導体(F)及びトリアジン誘導体(G)を含んでなる樹脂組成物において(C)ないし(G)の含有量が、(A)と(B)の合計量100重量部に対して、(C)が0.01〜5重量部、(D)が0.005〜1.0重量部、(E)が0.05〜5重量部、(F)が0.03〜1.0重量部、(G)が0.01〜1.0重量部であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (4件):
G03F 7/027
, G03F 7/004 512
, G03F 7/028
, H05K 3/18
引用特許:
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