特許

J-GLOBAL ID：200903090097808320

ダイヤモンドサーミスタ及びその製造方法

発明者： 宮田 浩一 ,  斉藤 公続
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-137823
公開番号（公開出願番号）：特開平6-349606
出願日： 1993年06月08日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【目的】 抵抗値及びサーミスタ定数(B定数)等の特性が安定していて、再現性が高く、互換性があるダイヤモンド薄膜サーミスタ及びその製造方法を提供する。【構成】 ダイヤモンド薄膜サーミスタは、気相合成法により形成されたダイヤモンド薄膜であって、その抵抗値及びサーミスタ定数(感度係数)が所定値に対して±5%以内にあるダイヤモンド薄膜を検知部に使用している。このダイヤモンド薄膜は、成膜中にダイヤモンド薄膜を合成する基板にレーザー光を入射して基板表面とダイヤモンド薄膜表面からの両反射光の干渉光を監視することにより検知部におけるダイヤモンド薄膜の膜厚を制御してその抵抗値を所定の値に制御すると共に、成膜中に気相合成装置内の原料ガスを質量分析し、原料ガス内のホウ素と炭素との比率を監視することによりそれが予め求められている所定の比率になるようにマスフローコントローラの出力を調整することにより形成する。

請求項（抜粋）：

気相合成法により形成されたダイヤモンド薄膜であって、その抵抗値及びサーミスタ定数(感度係数)が所定値に対して±5%以内にあるダイヤモンド薄膜を検知部に使用したことを特徴とするダイヤモンドサーミスタ。

IPC (3件)：

H01C 7/04 ,  C22C 1/05 ,  G01K 7/22