特許
J-GLOBAL ID:200903090098546396
落射暗視野照明装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-184851
公開番号(公開出願番号):特開平5-027181
出願日: 1991年07月24日
公開日(公表日): 1993年02月05日
要約:
【要約】【目的】本発明は、落射暗視野観察において、より微細な物を高精度に観察することが可能な落射暗視野照明装置を提供する。【構成】落射暗視野照明装置は、暗視野リング50及び遮光筒56を備える。暗視野リング50は、照明光の中心部をカットする絞り52と、この絞り52を落射投光管又はキューブに固定させるため、略120°の角度間隔で配置され、且つ、円弧形状の3本のステー54a、54b、54cと、を備えている。これらステーは、そのX部分の曲率(R)が、夫々、R=1/2以上に設定されている。また、遮光筒56は、この遮光筒56を鏡体、レボルバーを一体的に支持する部材及び対物レンズに固定させるため、略120°の角度間隔で配置され、且つ、円弧形状の3本のステー58a、58b、58cを備えている。これらステーも、そのY部分の曲率(R)が、夫々、R=1/2以上に設定されている。
請求項(抜粋):
システム顕微鏡の落射暗視野観察に用いられ、前記システム顕微鏡に内蔵可能な暗視野リング及び遮光筒を、前記システム顕微鏡の所定位置に支持可能で、且つ、円弧形状の支持部材を備えていることを特徴とする落射暗視野照明装置。
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