特許

J-GLOBAL ID：200903090111570579

液体供給装置

発明者： 古賀 守孝
出願人/特許権者： トキコ株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-017604
公開番号（公開出願番号）：特開2000-211700
出願日： 1999年01月26日
公開日（公表日）： 2000年08月02日
要約：

【要約】【課題】 本発明は液体を加熱する電熱ヒータの省スペース化することを課題とする。【解決手段】 液体供給装置11は、供給タンク12の内部に一対の電熱ヒータ13,14が上下に重ねた状態で設けられている。一対の電熱ヒータ13,14は、夫々同一寸法のパネル状に形成されており、互いに平板部分が正対するように取り付けられている。供給タンク12には、液体の温度を測定する測温抵抗体19が挿入されている。制御部20では、供給タンク12の液体温度が予め設定された温度となるように電熱ヒータ13,14への電圧供給を制御している。供給タンク12は、底面16がパネル状に形成された電熱ヒータ13,14を平らに設置できる寸法形状に形成されている。そのため、供給タンク12の設置面積は、従来のものよりも設置スペースが小さくて済む。また、供給タンク12の小容量化にも対応することができので、1回のバッチ処理が少ない場合にも対応することができる。

請求項（抜粋）：

所定の比率で調合された液体が貯溜されるタンクと、該タンク内の液体の温度を測定する温度測定手段と、パネル状に形成されて前記タンク内に設けられ、前記タンク内の液体の温度を調整する複数の温度調整手段と、を備えてなる液体供給装置において、前記複数の温度調整手段を上下に重ねて配置したことを特徴とする液体供給装置。

IPC (3件)：

B67D 5/62 ,  B08B 3/08 ,  H01L 21/304 648

FI (3件)：

B67D 5/62 ,  B08B 3/08 Z ,  H01L 21/304 648 G

Fターム (7件)：

3B201AA03 ,  3B201BB05 ,  3B201BB82 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3E083AA20 ,  3E083AH18