特許
J-GLOBAL ID：200903090114505964
微細表面形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-086847
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285512
出願日： 1995年04月12日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 サブミリオーダの微細加工物の3次元形状を測定することができる微細表面形状測定装置に関し、任意の微細穴側面等を回転ステージ等の複雑な構成を用いずに、自由度高く正確に形状測定することを目的とする。【構成】 被測定物2の形状計測用触針1と、触針1と被測定物2の相対移動手段4と、触針1を複数の方向に直線的に微小振動させる振動手段5と、相対移動手段4で被測定物2に対し相対移動された触針1の振動方向の制御手段10と、制御手段10で制御された触針1の振動方向において、触針1と被測定物2との電気的導通の状態を検出する検出手段13とを有し、検出手段13で検出された電気的導通状態により触針1と被測定物2との接触点の位置を検出し被測定物2の表面形状を測定する。
請求項（抜粋）：
被測定物の形状を計測するための触針と、前記触針と前記被測定物を相対移動させる相対移動手段と、前記触針を複数の任意の方向に直線的に微小振動させる振動手段と、前記相対移動手段で前記被測定物に対し相対移動された前記触針の振動方向を制御するための制御手段と、前記制御手段で制御された前記触針の振動方向において、前記触針と前記被測定物との電気的導通の状態を検出するための検出手段とを有し、前記検出手段で検出された電気的導通状態により前記触針と前記被測定物との接触点の位置を検出して前記被測定物の表面形状を測定する微細表面形状測定装置。
IPC (2件)：
G01B 7/00
, G01B 7/34 102
G01B 7/00 T
, G01B 7/34 102 B
