特許
J-GLOBAL ID：200903090114997468
ファンフィルタユニット一体型除電器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 内藤 浩樹
, 永野 大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-131191
公開番号（公開出願番号）：特開2008-288008
出願日： 2007年05月17日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：
【課題】除電器およびファンフィルタユニットが別部品として設置されるため、クリーンルームに設置する際に設置不良等によりエアーリークするという課題をがある。【解決手段】除電器9はファンフィルタユニット12に一体化されているため、クリーンルームなどに設置する際、ファンフィルタユニット12を設置するのみで良く、後から別部材にて除電器を設置することが不要となり、小型化省スペース化することができ、また、除電器9はファンフィルタユニット12を製造する段階でシーリングにより封止を施してエアーリークのないことを確認しており、クリーンルーム設置現場でのシーリングによる封止作業やエアーリークを確認するためのスキャンテストなど不要にすることができ省施工化することができる効果のあるファンフィルタユニット一体型除電器を提供することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
箱形状のチャンバ上部に吸込口を有し、ファンとモータからなるファンユニットを前記チャンバに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側にフィルタを設けたファンフィルタユニットにおいて、前記フィルタは複数個に分割され、分割されたフィルタ間に除電器を挟み込んだことを特徴とするファンフィルタユニット一体型除電器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
3L058BF01
, 3L058BF09
, 5G067AA11
, 5G067DA01
, 5G067DA21
, 5G067DA22
, 5G067EA10
