特許
J-GLOBAL ID:200903090115170974

三次元形状測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小塩 豊
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-290571
公開番号(公開出願番号):特開平10-132527
出願日: 1996年10月31日
公開日(公表日): 1998年05月22日
要約:
【要約】【課題】 レーザ光を用いた三次元形状測定装置において、被測定物の近傍に配置して2次反射光の受光を防止する遮光板では、狭い測定部分や複雑な形状を有する被測定物の形状測定に対応することが困難であった。【解決手段】 三次元形状の被測定物Wに向けて照射レーザ光LTを照射するレーザ光源3と、被測定物Wからの反射レーザ光LRを受けてその受光位置を検出する光位置検出素子4を備えると共に、光位置検出素子4の受光部側に、基準平面Sを測定する際の照射レーザ光LTの光軸と反射レーザ光LRの光軸との2軸により決定される平面に沿うスリット14を有する遮光マスク13を設けた三次元形状測定装置1。
請求項(抜粋):
三次元形状の被測定物に向けて照射レーザ光を照射するレーザ光源と、被測定物からの反射レーザ光を受けてその受光位置を検出する光位置検出素子を備えると共に、光位置検出素子の受光部側に、基準平面を測定する際の照射レーザ光の光軸と反射レーザ光の光軸との2軸により決定される平面に沿うスリットを有する遮光マスクを設けたことを特徴とする三次元形状測定装置。

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