特許
J-GLOBAL ID：200903090120037972
四重極型プラズマイオン源質量分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 益男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-283133
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110354
出願日： 1999年10月04日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【課題】本発明の目的課題は、検出信号に占めるバックグランドノイズを少なくすると共に検出感度をあげて、微量元素の検出の精度を確保する四重極型プラズマイオン源質量分析装置を提供することである。【解決手段】本発明は、四重極メインロッドの下流側に四重極のポストロッドを配設し、該ポストロッドに高周波成分が主で直流成分は30V以下にされた電圧を印加すると共に、検出器とポストロッド間に配置されたアパーチャの開口径をメインロッドの相対向する電極間距離の1/2以下に小さくする。更に該アパーチャの開口部長さを開口径以上となるようにポストロッド側に延在させ、該アパーチャには負電位を印加する。
請求項（抜粋）：
四重極メインロッドの下流側に四重極のポストロッドを配設し、該ポストロッドには高周波成分が主で直流成分は30V以下にされた電圧が印加されると共に、前記ポストロッドと検出器間に配置される出口アパーチャの開口径をメインロッドの相対向する電極間距離の1/2以下としたことを特徴とするプラズマイオン源質量分析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 49/42
, G01N 27/62 L
