特許
J-GLOBAL ID：200903090131220736
RF発生装置のインピーダンスマッチング制御回路
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-094656
公開番号（公開出願番号）：特開平5-284046
出願日： 1991年01月29日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】【目的】 スパッタリング等の用に供するRF発生装置のインピーダンスマッチングの制御を最も効果的に行う事によって、短時間で反射電力をゼロにし負荷への供給電力を最大にして、効率の良い品質の安定した半導体製造装置等の用に供するRF発生装置のマッチング制御方法を選択する。【構成】 過去の負荷のマッチング点に対する実績、経験に基づく推定をCPUに入力し、実行しようとする負荷に対しバリコンの移動可能範囲を設定することにより、又未知の負荷に於いても、バリコンの移動全範囲を分割してCPU指令に基づいてトライアルする事により、結果的に短時間でマッチングポイントを検出しようとするRF発生装置のインピーダンスマッチング制御回路である。
請求項（抜粋）：
RF電源とマッチング・ボックスと負荷とが直列接続されたAC電力供給回路におけるマッチングボックスに内蔵された前記電力供給における2つのバリコンをモータを介して可変するためのCPU制御によるI/Oポートそのドライブ回路、D/A変換回路、操作回路等を含むディジタル制御回路において、モータに直結された位置検出器の出力信号と操作回路により設定された値をD/A変換器に出力した値との比較回路を設け、その出力信号を前記ドライブ回路のコントロール端子に接続し、前記2つのバリコンの有効可変範囲を設けたことを特徴とするRF発生装置のインピーダンスマッチングを行うディジタル制御回路。
引用特許：
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