特許

J-GLOBAL ID：200903090131968633

シリコン単結晶引上げ用石英ガラス製ルツボの製造方法

発明者： 佐々木 泰実 ,  崎久保 邦彦
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-348930
公開番号（公開出願番号）：特開平7-196397
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：

【要約】【目的】 シリコン単結晶中に取込まれる金属不純物を減少させ、しかもエッチングに要する時間を短縮し、さらにエッチングの厚みを少なくして内表面の荒れを防止する。【構成】 内表面に露出していて、100μm以下の厚さを有し、かつOH基含有量が350ppm〜1500ppmである高OH濃度の第1層と、内表面に露出しておらず、5mm以上の厚さを有し、かつOH基含有量が100ppm以下である低OH濃度の第2層をもつルツボの内表面をエッチングして、前記第1層の少くとも表面部分を除去することを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラス製ルツボの製造方法。

請求項（抜粋）：

内表面に露出していて、100μm以下の厚さを有し、かつOH基含有量が350ppm〜1500ppmである高OH濃度の第1層と、内表面に露出しておらず、5mm以上の厚さを有し、かつOH基含有量が100ppm以下である低OH濃度の第2層をもつルツボの内表面をエッチングして、前記第1層の少くとも表面部分を除去することを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラス製ルツボの製造方法。

IPC (4件)：

C30B 15/10 ,  C03C 15/00 ,  C30B 29/06 502 ,  H01L 21/208