特許
J-GLOBAL ID：200903090145840966
ダイシング装置の切削位置補正方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-260096
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124880
出願日： 1994年10月25日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】ウェーハを切削しなくても切削位置の変位を検出できると共に、変位量そのものを自動計測することができるので変位を自動補正できるダイシング装置を提供する。【構成】ウェーハテーブル10と一体のウェーハテーブル基台13に基準ポイントを設ける。そして、高速回転するスピンドル20先端に取付けられると共に、ブレード割出し装置24でスケール26に基づいてY方向に割り出し送りされるブレード10のブレードカバー30内に、ブレード18までの距離を測定するセンサー38と、基準ポイント36とセンサー38との位置関係を計測する計測装置40を設ける。そして、計測装置で40で計測することによりウェーハテーブル座標とスケール26との間に相関関係を形成した状態で、センサー38にブレード18までの距離を測定し、スピンドル20の伸び等によりブレード18が正規の位置から変位した変位量を、センサー38により測定される測定距離の変化量として検出する。
請求項（抜粋）：
X、Y方向にウェーハが位置決め載置されたウェーハテーブルをX方向に切削送りすると共に、スピンドルに取付けられて回転するブレードをブレード割出し装置でスケールに基づいてY方向に割出し送りし、前記ウェーハ表面に格子状に形成されているチップ間のストリートを前記ブレードで切削するダイシング装置の切削位置補正方法に於いて、前記ウェーハテーブル座標上に基準ポンイトを設定すると共に、前記スケール基準で割り出し送りされるブレードの近傍で前記ブレード割出し装置に一体的に測定ポイントを設定し、前記基準ポイントと前記測定ポイントとのY方向の位置関係を計測すると共に前記測定ポイントから前記ブレードまでの距離を測定し、前記計測した位置関係から前記測定ポイントと前記ブレードの前記ウェーハテーブル座標上と前記スケール上とにおける対応関係を求めておき、前記測定された距離の変化量を補正データとして前記ブレード割出し装置の送り量を補正することを特徴とするダイシング装置の切削位置補正方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/78 F
, H01L 21/78 C
