特許
J-GLOBAL ID:200903090147678180
有機薄膜エレクトロルミネッセンス素子のパターニング方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-129518
公開番号(公開出願番号):特開平9-320760
出願日: 1996年05月24日
公開日(公表日): 1997年12月12日
要約:
【要約】【課題】 発光層を劣化させることなく、均一な組成を有する電子注入電極のマトリックスを形成できるとともに、発光時にクロストークを防止することが可能な有機薄膜エレクトロルミネッセンス素子のパターニング方法を提供することを目的としている。【解決手段】 基板1と、正孔注入電極2と、少なくとも発光層4を有する有機薄膜層5と、電子注入電極層6を備え、電子注入電極層6の上方より照射されたエキシマレーザー光9により有機薄膜層5及び電子注入電極層6を同一形状にパターニングすることによって、均一な組成を有する電子注入電極のマトリックスを形成できるとともに、発光時における有機薄膜エレクトロルミネッセンス素子のクロストークを防止することが可能な有機薄膜エレクトロルミネッセンス素子のパターニング方法を提供することが可能となる。
請求項(抜粋):
正孔注入電極が形成された基板と、前記基板上に積層され少なくとも発光層を有する有機薄膜層と、前記有機薄膜層上に積層された電子注入電極層を備えた有機薄膜エレクトロルミネッセンス素子のパターニング方法であって、前記電子注入電極層の上方より照射されたエキシマレーザー光により前記電子注入電極層をパターニングすることを特徴とする有機薄膜エレクトロルミネッセンス素子のパターニング方法。
IPC (2件):
FI (2件):
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