トラップ装置及びこれを用いた未反応処理ガス排気機構

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：浅井章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-132833
公開番号（公開出願番号）：特開平8-299784
出願日： 1995年05月02日
公開日（公表日）： 1996年11月19日
要約：

【要約】【目的】熱により分解される未反応処理ガスを確実に除去でき且つ真空ポンプにも悪影響を与えないトラップ装置を提供する。【構成】処理装置2に連結される排気通路18にトラップ用通路容器32を介設し、これに加熱トラップ手段64を収容する。このトラップ手段を加熱することにより未反応処理ガスを熱分解させ、析出したアルミニウム等の金属をここで付着除去させる。これにより後流側に位置する真空引きポンプにダメージが及ぶことを防止する。

請求項（抜粋）：

排気通路に介設されて熱により分解される処理ガスをトラップするトラップ装置において、前記排気通路の途中に介設されるべきトラップ用通路容器と、このトラップ用通路容器内に収容されてこれに流れる前記処理ガスと接触して熱分解させる加熱トラップ手段とを備えるように構成したことを特徴とするトラップ装置

IPC (4件)：

B01J 19/00 301 , B01J 3/02 , H01L 21/205 , H01L 21/285

FI (4件)：

B01J 19/00 301 D , B01J 3/02 M , H01L 21/205 , H01L 21/285 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭52-052173
特開平4-304381
特開平3-183780

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