特許
J-GLOBAL ID：200903090155997871
感熱式マイクロブリッジ型流速計及びフルイディック流量計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-089702
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300605
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 低流量域及び微少流量域を含む全流量域において正確な流速計測が行える感熱式マイクロブリッジ型流速計及びフルイディック流量計を提供する。【構成】 主梁3上に発熱抵抗体5及び主測温抵抗体6を形成し、この主梁3の下流側の副梁4上に副測温抵抗体7を形成し、主梁3の上流の基板1上に流体Aの温度を計測する流体測温抵抗体8を形成し、発熱抵抗体5と流体測温抵抗体8との温度差を一定にするために主測温抵抗体6と副測温抵抗体7と流体測温抵抗体8とが接続された第1電気ブリッジ回路を設け、流体Aの微少流速を検出するために副測温抵抗体7と流体測温抵抗体8とが接続された第2電気ブリッジ回路を設け、第1及び第2電気ブリッジ回路の出力を記憶保持し演算処理する記憶保持演算処理手段を設けて感熱式マイクロブリッジ型流速計を構成し、また、この感熱式マイクロブリッジ型流速計を備えたフルイディック流量計を設けた。
請求項（抜粋）：
基板を異方性エッチングすることにより形成された堀と、この堀の上空を跨ぐように形成された主梁と、この主梁上に形成された発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の温度を計測する前記主梁上に形成された主測温抵抗体と、前記主梁の下流側に形成された副梁と、この副梁上に形成された副測温抵抗体と、前記主梁の上流の基板上に形成された流体の温度を計測する流体測温抵抗体と、前記発熱抵抗体と前記流体測温抵抗体との温度差を一定にするために前記主測温抵抗体と前記副測温抵抗体と前記流体測温抵抗体とが接続された第1電気ブリッジ回路と、流体の微少流速を検出するために前記副測温抵抗体と前記流体測温抵抗体とが接続された第2電気ブリッジ回路と、前記第1及び第2電気ブリッジ回路の出力を記憶保持し演算処理する記憶保持演算処理手段とよりなることを特徴とする感熱式マイクロブリッジ型流速計。
IPC (3件)：
G01F 7/00
, G01F 1/20
, G01P 5/12
