特許

J-GLOBAL ID：200903090157254507

試料の処理システム

発明者： 柳田 一隆 ,  坂口 清文 ,  近江 和明
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (6件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-320216
公開番号（公開出願番号）：特開2009-111406
出願日： 2008年12月16日
公開日（公表日）： 2009年05月21日
要約：

【課題】SOI基板の製造に好適な処理システムを提供する。【解決手段】この処理システム3000は、ロボットハンド3152により貼り合わせ基板を保持して搬送するスカラーロボット3150と、スカラーロボット3150の駆動軸3151から略等距離の位置に夫々配置された芯出し装置3070、分離装置3020、反転装置3130と、洗浄/乾燥装置3120とを備え、駆動軸3152を中心としてロボットハンド3152を水平面内で回動させると共に該ロボットハンド3152を駆動軸3151から遠ざけたり近づけたりすることにより、各処理装置の間で貼り合わせ基板又は分離後の基板を搬送する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料を処理する処理システムであって、 試料を処理する複数の処理装置と、前記複数の処理装置の間で試料を搬送する搬送機構と、を備え、 前記複数の処理装置には、試料を水平に保持した状態で分離する分離装置と、前記分離装置により分離して得られる2枚の板状試料のうち上方の板状試料を反転させる反転装置が含まれることを特徴とする処理システム。

IPC (4件)：

H01L 21/02 ,  H01L 27/12 ,  H01L 21/677 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

H01L27/12 B ,  H01L21/68 A ,  H01L21/304 601S ,  H01L21/02 B

Fターム (33件)：

5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA11 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA20 ,  5F031FA21 ,  5F031FA30 ,  5F031GA02 ,  5F031GA06 ,  5F031GA08 ,  5F031GA32 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031HA05 ,  5F031HA10 ,  5F031HA12 ,  5F031HA13 ,  5F031HA46 ,  5F031HA48 ,  5F031HA56 ,  5F031HA58 ,  5F031HA59 ,  5F031KA03 ,  5F031KA11 ,  5F031MA04 ,  5F031MA21 ,  5F031MA23 ,  5F031NA09 ,  5F031PA01 ,  5F031PA23