特許

J-GLOBAL ID：200903090159940998

真空容器

発明者： 梶原 勇輝
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-253867
公開番号（公開出願番号）：特開2004-095783
出願日： 2002年08月30日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：

【課題】高周波域で使用しても破損することがなく、反応ガスに対しても耐食性の高い真空容器を提供すること。【解決手段】真空容器2は、マイクロ波が導入可能なアルミナ質焼結体からなり、このアルミナ質焼結体は、アルミナ主結晶相の粒界にAlと、イオン半径が0.092nm以下の周期律表第3a族元素(RE)とからなるペロブスカイト型の複合酸化物(REAlO3)を主体とする結晶相が存在することを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

マイクロ波が導入可能に構成されたアルミナ質焼成体からなる真空容器において、前記アルミナ質焼結体は、アルミナ主結晶相の粒界にAlと、イオン半径が0.092nm以下の周期律表第3a族元素(RE)とからなるペロブスカイト型の複合酸化物(REAlO3)を主体とする結晶相が存在していることを特徴とする真空容器。

IPC (5件)：

H01L21/3065 ,  B01J3/00 ,  B01J19/08 ,  C23C16/511 ,  H01L21/205

FI (5件)：

H01L21/302 101B ,  B01J3/00 K ,  B01J19/08 H ,  C23C16/511 ,  H01L21/205

Fターム (27件)：

4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BC04 ,  4G075BC06 ,  4G075CA26 ,  4G075CA47 ,  4G075CA65 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EA01 ,  4G075EB01 ,  4G075FB04 ,  4K030CA04 ,  4K030FA01 ,  4K030KA08 ,  4K030KA30 ,  4K030KA46 ,  4K030LA15 ,  5F004AA15 ,  5F004BB14 ,  5F004BB29 ,  5F045AA09 ,  5F045BB08 ,  5F045BB15 ,  5F045EB03 ,  5F045EB06 ,  5F045EH03