特許

J-GLOBAL ID：200903090167199547

走査ビーム装置

発明者： 山蔭 康弘
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-370005
公開番号（公開出願番号）：特開2001-185067
出願日： 1999年12月27日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】 走査ビーム装置において走査速度の変化による視野ずれを防止する。【解決手段】 荷電ビームを試料上で二次元的に走査して走査画像を形成する走査ビーム装置において、走査信号の信号強度を走査速度に応じてシフトさせる視野ずれ補正手段を備えた構成とし、この視野ずれ補正手段10は、走査ビームの走査方向の遅延を低減させる方向に走査信号の信号強度をシフトさせて、これによって走査速度に応じた走査画像の視野ずれの補正を行う。

請求項（抜粋）：

荷電ビームを試料上で二次元的に走査して走査画像を形成する走査ビーム装置において、走査信号の信号強度を走査速度に応じてシフトさせる視野ずれ補正手段を備え、走査ビームの走査方向の遅延を低減する方向に走査信号の信号強度をシフトさせ、走査画像の視野ずれを補正することを特徴とする、走査ビーム装置。

IPC (4件)：

H01J 37/147 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/252 ,  H01J 37/28

FI (4件)：

H01J 37/147 B ,  H01J 37/22 502 B ,  H01J 37/252 A ,  H01J 37/28 B

Fターム (6件)：

5C033FF03 ,  5C033FF04 ,  5C033PP05 ,  5C033PP06 ,  5C033UU05 ,  5C033UU06