特許
J-GLOBAL ID:200903090183330289
ポジ型感光性組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-141993
公開番号(公開出願番号):特開2000-330271
出願日: 1999年05月21日
公開日(公表日): 2000年11月30日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 赤外線レーザに対し高感度で、かつ現像ラチチュード及び保存安定性の良好なポジ型感光性組成物の提供。【解決手段】 酸性基を有する高分子化合物と下記一般式(1)で表される赤外線吸収剤とを含有し、赤外線照射前はアルカリ水溶液可溶性が抑制されており、赤外線照射によってアルカリ水溶液に可溶となることを特徴とする。式中、X及びYは、酸素原子、硫黄原子、セレン原子、又はテルル原子を、Mは、共役炭素数5以上のメチン鎖を、Rx1〜Rx4、及びRy1〜Ry4は、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基等を、W-は陰イオンを表す。
請求項(抜粋):
酸性基を有する高分子化合物と下記一般式(1)で表される赤外線吸収剤とを含有し、赤外線照射前はアルカリ水溶液可溶性が抑制されており、赤外線照射によってアルカリ水溶液に可溶となることを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】(一般式(1)中、X及びYは、それぞれ、酸素原子、硫黄原子、セレン原子、又はテルル原子を表す。Mは、共役炭素数5以上のメチン鎖を表す。Rx1〜Rx4、及びRy1〜Ry4は、それぞれ同じでも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基、アリール基、アルケニル基、アルキニル基、カルボニル基、チオ基、スルホニル基、スルフィニル基、オキシ基、又はアミノ基を表す。W-は陰イオンを表す。)
IPC (3件):
G03F 7/004 506
, B41N 1/14
, G03F 7/039 501
FI (3件):
G03F 7/004 506
, B41N 1/14
, G03F 7/039 501
Fターム (19件):
2H025AA00
, 2H025AA01
, 2H025AA04
, 2H025AB03
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025CB42
, 2H025CB52
, 2H025CC12
, 2H025CC13
, 2H025CC20
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 2H114AA04
, 2H114BA01
, 2H114BA05
, 2H114DA35
, 2H114FA15
, 2H114GA05
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