特許
J-GLOBAL ID：200903090183828724
紫外光照射装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
遠藤 恭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-323597
公開番号（公開出願番号）：特開2000-218156
出願日： 1999年11月15日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：
【要約】【課題】 被加工物を誘電体バリア放電ランプに対し相対的に回転させながら紫外光を照射する紫外光照射装置において、被加工物表面に対する紫外光の積算光量を一定に近づけ、表面処理の均質性を高める。【解決手段】 本発明は、被加工物Wを載置するターンテーブル16と、ターンテーブルを回転駆動する駆動源18と、被加工物Wの被加工面に到達する紫外光の光量をその紫外光通過領域の形状により調整するフィルタ15を備える。本発明においてフィルタ15は、その紫外光通過領域の形状が、上記紫外光の照射範囲の長さ方向に対する中心線に対し対称であり、該紫外光通過領域の幅方向における上記紫外光通過領域の境界を形成する各線分の少なくとも上記紫外光の照射範囲の中央寄りの部分が、上記中心線を基点とした上記紫外光の照射範囲の長さ方向における距離rを変数とする二次曲線で略表現されるものとを備える。
請求項（抜粋）：
被加工物の被加工面に対して紫外光を照射してその洗浄又は改質を行うための紫外光照射装置において、上記被加工面の最大径以上の長さを有する誘電体バリア放電ランプと、上記被加工物を、その被加工面が上記誘電体バリア放電ランプの照射する紫外光の照射下に来るように載置するターンテーブルであって、上記誘電体バリア放電ランプによる紫外光の照射範囲の中心に略その回転中心を一致させたものと、上記ターンテーブルを回転駆動する駆動源と、上記誘電体バリア放電ランプによる紫外光の照射下に固定され、上記被加工物の被加工面に到達する紫外光の光量をその紫外光通過領域の形状により調整するフィルタであって、該紫外光通過領域の形状が、上記紫外光の照射範囲の長さ方向に対する中心線に対し対称であり、該紫外光通過領域の幅方向における上記紫外光通過領域の境界を形成する各線分の少なくとも上記紫外光の照射範囲の中央寄りの部分が、上記中心線を基点とした上記紫外光の照射範囲の長さ方向における距離rを変数とする二次曲線で略表現されるものとを備え、これによって、上記被加工物を上記誘電体バリア放電ランプに対し相対的に回転させながら、上記誘電体バリア放電ランプによる照射を行うことによって、上記被加工面の全域に上記誘電体バリア放電ランプからの紫外光を照射させる紫外光照射装置。
IPC (5件)：
B01J 19/12
, C23C 4/00
, C23G 3/00
, H01J 61/00
, H01L 21/304 645
B01J 19/12 C
, C23C 4/00
, C23G 3/00 Z
, H01J 61/00
, H01L 21/304 645 D
